bypass-CMOS-sensor

Ett laminärströmningselement i huvudkanalen generar ett mindre tryckfall, vilket gör att en liten del av det totala flödet passerar genom bypasskanalen. Sensorn som sitter där registrerar direkt massflödet som temperaturskillnad. Mätningen utförs i det här fallet i en särskilt utformad strömningskanal där det sitter ett kiselchip med ett exponerat membran på väggbeklädnaden. Inom CMOSens®-teknik placerar man på detta membran ett värmningsmotstånd samt upp- och nedströms två temperatursensorer som sitter symmetriskt i förhållande till detta motstånd. Om värmningsmotståndet får konstant spänning är temperatursensorernas differensspänning ett mått på massflödet för gasen som strömmar förbi chipet i strömningskanalen.

Funktionsschema för bypass-sensorn inom CMOS-Sens-teknik (sektion av bypasskanalen)